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气态分子污染及控制技术
Airborne molecular contaminant and its control丛 书 名：研究生创新人才培养系列教材
I S B N：(纸本) 9787561868249
出 版 社：天津大学出版社
出 版 年：2020年
页 数：164页, [10] 页图版页
学科分类：07[理学] 070602[理学-大气物理学与大气环境] 0706[理学-大气科学]
馆 藏 号：201102019...
摘 要：本书全面地介绍了该行业中对于生产环境中空气污染控制要求的升级转变，气态分子污染物（AMC）的相关控制规范和要求，以及常见的洁净厂房AMC控制方法和系统设备。在介绍基础知识及相关理论的基础上，结合工程示范的实测数据分析，使读者能够更加真实地了解目前洁净室AMC控制的现状。当下，恰逢我国大力推动集成电路行业发展，大量电子洁净厂房兴建，本书出版也恰逢其时，对业内人员更具实际参考价值。
