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Ion Implantation: Basics to Device Fabrication

丛 书 名：The Springer International Series in Engineering and Computer Science 293

版本说明：1

作     者：Emanuele Rimini (auth.) 

I S B N：(纸本) 9780792395201;9781461522591 

出 版 社：Springer US 

出 版 年：1995年

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