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微机电系统设计与加工

MEMS Design and fabrication

丛 书 名:国际机械工程先进技术译丛

版本说明:1-1

作     者:(美)MOHAMEDGAD-EL-HAK 

I S B N:(纸本) 9787111285977 

出 版 社:北京:机械工业出版社 

出 版 年:2010年

页      数:X, 536页, [4] 页图版页

主 题 词:微电机 系统设计 

学科分类:080903[工学-微电子学与固体电子学] 12[管理学] 080801[工学-电机与电器] 1201[管理学-管理科学与工程(可授管理学、工学学位)] 0808[工学-电气工程] 0809[工学-电子科学与技术(可授工学、理学学位)] 08[工学] 

馆 藏 号:201171137...

摘      要:本书主要介绍MEMS技术中材料和加工方面的知识。内容包括:MEMS中的材料,MEMS制造,LIGA及其微模压,基于X射线的加工,EFAB技术及其应用,单晶SiC MEMS制造、特性与可靠性,用于碳化硅体微加工的等离子体反应深刻蚀,聚合物微系统:材料和加工,光诊断方法考察微流道的入口长度,应用于航空航天的微化学传感器,恶劣环境下的MEMS器件封装技术,纳机电系统制造技术,分子自组装基本概念及应用。

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