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微机电系统设计与加工
MEMS Design and fabrication丛 书 名：国际机械工程先进技术译丛
版本说明：1-1
I S B N：(纸本) 9787111285977
出 版 社：北京：机械工业出版社
出 版 年：2010年
页 数：X, 536页, [4] 页图版页
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 12[管理学] 080801[工学-电机与电器] 1201[管理学-管理科学与工程(可授管理学、工学学位)] 0808[工学-电气工程] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学]
馆 藏 号：201171137...
摘 要：本书主要介绍MEMS技术中材料和加工方面的知识。内容包括：MEMS中的材料，MEMS制造，LIGA及其微模压，基于X射线的加工，EFAB技术及其应用，单晶SiC MEMS制造、特性与可靠性，用于碳化硅体微加工的等离子体反应深刻蚀，聚合物微系统：材料和加工，光诊断方法考察微流道的入口长度，应用于航空航天的微化学传感器，恶劣环境下的MEMS器件封装技术，纳机电系统制造技术，分子自组装基本概念及应用。
