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微光学和纳米光学制造技术
Microoptics and nanooptics fabrication丛 书 名：国际信息工程先进技术译丛
版本说明：1-1
I S B N：(纸本) 9787111394488
出 版 社：机械工业出版社
出 版 年：2012年
页 数：196页
学科分类：12[管理学] 1201[管理学-管理科学与工程(可授管理学、工学学位)] 080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程]
馆 藏 号：201186322...
摘 要：本书详细介绍了微米光学和纳米光学元件成功的、最新的制造工艺，重点强调了关键性的专业技巧，提供了最新的技术信息，内容包括：面浮雕衍射光学元件、微光学等离子体刻蚀加工技术、使用相位光栅掩模板的模拟光刻术、光学器件的电子束纳米光刻制造技术。
