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半导体器件工艺原理
丛 书 名：高等学校教学参考书
版本说明：第1版
I S B N：(纸本) 15012;028
出 版 社：北京：人民教育出版社
出 版 年：1977年
页 数：496页
主 题 词：半导体工艺
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 12[管理学] 1201[管理学-管理科学与工程(可授管理学、工学学位)] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学]
馆 藏 号：201192108...
摘 要：本书主要介绍半导体器件制造的基本工艺，着重从理论上阐明工艺的基本原理。
