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金属有机化合物气相外延基础及应用
丛 书 名：半导体科学与技术丛书
版本说明：1
I S B N：(纸本) 9787030238450
出 版 社：科学出版社
出 版 年：2009年
页 数：363页
学科分类：081704[工学-应用化学] 07[理学] 08[工学] 0817[工学-化学工程与技术] 070303[理学-有机化学] 0703[理学-化学]
馆 藏 号：201374390...
摘 要：本书是国内第一本全面系统地介绍MOVP的专著，从理论和实践两个方面分别论述了该技术的生长系统和原材料特性等实验基础、MOVPE生长热力学、化学反应动力和输运现象等理论基础。
