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半导体制造与过程控制基础
Fundamentals of semiconductor manufacturing and process control丛 书 名：国际信息工程先进技术译丛
版本说明：1-1
I S B N：(纸本) 9787111256656
出 版 社：机械工业出版社
出 版 年：2009年
页 数：377页
主 题 词：半导体工艺
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 12[管理学] 1201[管理学-管理科学与工程(可授管理学、工学学位)] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学]
馆 藏 号：201374920...
摘 要：本书详细地研究并阐述了在高产量制造环境中，电子材料和供料转换为完善的集成电路和电子产品的过程和方法。本书讨论与微电子器件和电路的工业水平制造相关的问题，包括（但不限于）制造、过程控制、试验设计、过程建模、产出建模和CIM（计算机集成制造）／CAM（计算机辅助制造）系统。本书包括对基本制造概念理论和实践的描述，以及一些案例分析、典型问题和建议的练习。 本书可作为相关专业研究生的教材，也可在半导体制造课程中使用。本书也可作为半导体工业中实践工程师和科研人员的参考书。
