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半导体薄膜技术与物理 第2版
Physics and technology of semiconductor thin films丛 书 名：“十二五”普通高等教育本科国家级规划教材 高等院校材料专业系列规划教材
版本说明：第2版
I S B N：(纸本) 9787308139106
出 版 社：浙江大学出版社
出 版 年：2014年
页 数：237页
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 12[管理学] 1201[管理学-管理科学与工程(可授管理学、工学学位)] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学]
馆 藏 号：201402435...
摘 要：本书全面系统地介绍了半导体薄膜的各种制备技术及其相关的物理基础。全书共分十一章。第一章概述了真空技术, 第二至第八章分别介绍了蒸发、溅射、化学气相沉积、脉冲激光沉积等, 第九章介绍了半导体超晶格、量子阱的基本概念和理论, 第十章介绍了典型薄膜半导体器件的制备技术。
