硅微谐振式加速度计温漂补偿研究

作     者：张含 丁徐锴 李宏生 ZHANG Han;DING Xukai;LI Hongsheng

作者机构：东南大学仪器科学与工程学院江苏南京210096 东南大学微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室江苏南京210096 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2021年第40卷第5期

页      面：8-11页

学科分类：080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 0802[工学-机械工程] 

主　　题：频率温度特性 控制电压 品质因数 温度补偿 

摘      要：硅微谐振式加速度计的输出信号是由谐振频率反映的,谐振频率的特性决定了仪表的精度。但加速度计的谐振频率具有温敏特性,当温度变化时,便会产生测量误差。为了减小这一影响,结合加速度计的外围控制系统,在分析加速度计谐振频率、控制电压随温度变化规律的基础上,设计加速度计零偏的补偿方法。利用数据拟合,建立加速度计谐振偏移频率与控制电压的模型,基于模型完成加速度计零偏的温度补偿工作。针对该方法的有效性,进行了全温实验验证,结果表明:应用该补偿方法,在-20~30℃之间,相较于补偿前的加速度计零偏漂移减小了66.7%。