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薄膜晶体管研究进展
Research Progress on Thin Film Transistor作者机构：辽宁大学物理系沈阳110036 北京交通大学光电子技术研究所发光与光信息技术教育部重点实验室北京100044
出 版 物：《光子技术》 (Photon Technology)
年 卷 期：2006年第3期
页 面：135-139页
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 080706[工学-化工过程机械] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 0807[工学-动力工程及工程热物理] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学]
摘 要：薄膜晶体管是液晶显示器的关键器件,对显示器件的工作性能具有十分重要的作用。本文论述了薄膜晶体管的发展历史,描述了薄膜晶体管的工作原理,分析了非晶硅薄膜晶体管、多晶硅薄膜晶体管、有机薄膜晶体管、ZnO活性层薄膜晶体管的性能结构特点与最新进展,并展望了薄膜晶体管的应用。
