基于激光位移传感器圆径测量的角度安装误差研究

作     者：马金钰 陈欣 丁国清 陈继刚 Ma Jinyu;Chen Xin;Ding Guoqing;Chen Jigang

作者机构：上海交通大学电子信息与电气工程学院上海200240 上海精密计量测试研究所上海201109 

出 版 物：《红外与激光工程》 (Infrared and Laser Engineering)

年 卷 期：2021年第50卷第5期

页      面：186-192页

核心收录：

学科分类：08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 081102[工学-检测技术与自动化装置] 0811[工学-控制科学与工程] 

基　　金：国家重点研发计划(2019YFF0216401) 

主　　题：角度安装误差 圆径测量 激光位移传感器 最小二乘法 

摘      要：基于激光位移传感器的工件圆径和圆度测量被广泛应用于工业现场的产品质量检测过程中。文中研究了激光位移传感器的角度安装误差对工件圆径测量结果的影响,并提出校准方法。首先,将定量分析位移传感器的角度安装误差与计算得到的圆径结果的误差之间的关系。其次,提出了一种位移传感器角度安装误差校准方法,该方法可在标准圆圆径未知的情况下,根据不同位置下的3个位移传感器的测量值,精确计算出传感器的角度安装误差。详细说明了该校准方法的建模过程,通过仿真确认角度安装误差校准方法的有效性。最后,利用三坐标测量仪对角度安装误差进行校准。实验结果表明,校准后的圆径测量误差从20μm提高到1.5μm。