非对径安装双读数头圆光栅偏心测角误差修正

作     者：王笑一 王永军 雷贤卿 邓四二 卢继敏 WANG Xiao-yi;WANG Yong-jun;LEI Xian-qing;DENG Si-er;LU Ji-min

作者机构：河南科技大学河南省机械设计及传动系统重点实验室河南洛阳471003 贵阳新天光电科技有限公司贵州贵阳550018 

出 版 物：《光学精密工程》 (Optics and Precision Engineering)

年 卷 期：2021年第29卷第5期

页      面：1103-1114页

核心收录：

学科分类：08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 081102[工学-检测技术与自动化装置] 0811[工学-控制科学与工程] 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(No.51775172) 中国博士后科学基金资助项目(No.188521) 

主　　题：圆光栅 双读数头 测角误差 误差修正 

摘      要：圆光栅安装偏心引起的测角误差是影响圆光栅角度测量精度的关键因素,而对圆光栅安装偏心引起的测角误差进行修正是提高圆光栅测角精度的有效方法。本文分析了圆光栅安装偏心与测角误差之间的关系,建立了基于双读数头的圆光栅偏心测角误差理论模型,提出了一种基于非对径安装双读数头的圆光栅偏心测角误差修正方法。仿真及实测试验表明,在双读数头非对径安装时,新方法对读数头安装误差和圆光栅偏心误差造成的测角误差的修正效果明显优于双读数头均值法。试验中,当两读数头对径安装误差约为4°时,新方法修正后的测角误差为均值法修正后测角误差的二分之一以下,其中仿真试验中由均值法修正后测角误差为1.785″,新方法修正后的测角误差为0.720″。