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溶胶-凝胶法制备(Ba_(0.7)Sr_(0.3))TiO_3LaNiO_3异质薄膜及其结构和介电性质研究
Structures and dielectric properties of (Ba_(0.7)Sr_(0.3))TiO_3/LaNiO_3 hetero-structure films prepared by sol-gel technique作者机构：兰州大学物理科学与技术学院兰州730000
出 版 物：《物理学报》 (Acta Physica Sinica)
年 卷 期：2005年第54卷第9期
页 面：4406-4410页
核心收录：
学科分类：08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）]
摘 要：采用改进的溶胶凝胶方法在单晶Si(100)衬底上制备了介电性能优异的(Ba0.7Sr0.3)TiO3LaNiO3异质薄膜.实验发现,在750℃下、O2气氛中晶化的LaNiO3薄膜的电阻率最小.CV与IV特性测量表明(Ba0.7Sr0.3)TiO3薄膜具有优异的介电性能,在频率为50kHz、零偏压下的相对介电常数εr300,偏压为6V时漏电流密度JL1.2×10-6Acm2.
