基于驻极体的低功耗非接触式电压测量技术

作     者：李嘉晨 刘向明 刘俊 高雅浩 彭思敏 张洲威 毋正伟 郑凤杰 任仁 彭春荣 LI Jia-chen;LIU Xiang-ming;LIU Jun;GAO Ya-hao;PENG Si-min;ZHANG Zhou-wei;WU Zheng-wei;ZHENG Feng-jie;REN Ren;PENG Chun-rong

作者机构：中国科学院空天信息创新研究院传感技术国家重点实验室北京100190 中国科学院大学电子电气与通信工程学院北京100049 

出 版 物：《仪表技术与传感器》 (Instrument Technique and Sensor)

年 卷 期：2022年第7期

页      面：117-122页

学科分类：080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 0802[工学-机械工程] 

基　　金：国家自然科学基金项目(62031025,61971398) 中国科学院科研仪器设备研制项目资助(YJKYYQ20200026,GJJSTD20210004) 

主　　题：低功耗 驻极体薄膜 非接触式电压测量 电压传感器 电场测量 

摘      要：针对低功耗、高性能非接触式电压测量的需求,提出一种基于驻极体电容结构的非接触式电压测量技术。驻极体电容结构由正面蒸发有金属导电薄膜的驻极体薄膜、绝缘衬圈和金属电极构成,通过理论分析和有限元仿真,得到传感器的输出响应关系,并通过搭建实验测试平台对传感器进行性能测试。测试结果表明,传感器输出响应特性与理论分析吻合,并具有较好的线性度和重复性,在施加600、800、1 000 Hz被测电压条件下,传感器的线性度分别达到6.1%、3.5%、2.7%,重复性分别达到9.67%、 5.93%、5.46%。