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短脉冲光纤激光诱导等离子体辅助加工薄盖玻片研究
Study on Thin Coverslip by Laser Induced Plasma Assisted Ablation with Short-pulse Laser作者机构：华侨大学机电及自动化学院福建厦门361021 厦门大学机电工程系福建厦门361005 福建省特种能场制造重点实验室福建厦门361021
出 版 物：《电加工与模具》 (Electromachining & Mould)
年 卷 期：2022年第4期
页 面：53-56页
学科分类：08[工学] 0802[工学-机械工程] 080201[工学-机械制造及其自动化]
主 题：激光诱导等离子体辅助加工 薄盖玻片 能量密度
摘 要：薄盖玻片由于强度低、透明度好、光学性能影响小的优点在图像、光电、生物等传感器中大量应用,激光诱导等离子体辅助加工技术因能对薄透材质有效间接加工成为了一种新选择。基于激光诱导等离子体辅助加工技术加工薄盖玻片的机理,研究了激光能量密度、扫描速度、加工距离等参数对加工效果的影响规律,为下一代薄透介质的研究应用提供参考。
