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微型电液动力泵的实验

Experiment of electrohydrodynaic micropump

作     者:孙翠霞 于翮 李德胜 俞坚 SUN Cui-xia;YU He;Li De-sheng;YU Jian

作者机构:北京工业大学传热强化与过程节能教育部重点实验室及传热与能源利用北京市重点实验室北京100022 北京工业大学机电学院北京100022 

出 版 物:《功能材料与器件学报》 (Journal of Functional Materials and Devices)

年 卷 期:2008年第14卷第2期

页      面:508-511页

学科分类:08[工学] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)] 080502[工学-材料学] 

基  金:国家自然科学基金资助项目(No.50676001) 

主  题:电液动力泵 MEMS 离子拖曳 

摘      要:本研究在硅片上制作了有平面电极的微型电液动力泵并进行了实验研究。微泵由一组平面电极组成,施加直流电压驱动液体流动。分别采用HFE7100和无水乙醇作为工作流体进行了静压头测试。使用HFE7100时最高可以得到1050Pa的压头。

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