激光诱导放电等离子体极紫外辐射的模拟

作     者：王均武 玄洪文 俞航航 王新兵 Vassily S.Zakharov Wang Jun-Wu;Xuan Hong-Wen;Yu Hang-Hang;Wang Xin-Bing;Vassily S.Zakharov

作者机构：广东大湾区空天信息研究院广州510700 华中科技大学武汉国家光电研究中心武汉430074 凯尔迪什应用数学研究所莫斯科125047 中国科学院大学北京100049 

出 版 物：《物理学报》 (Acta Physica Sinica)

年 卷 期：2024年第73卷第1期

页      面：258-265页

核心收录：

学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 07[理学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 070204[理学-等离子体物理] 0702[理学-物理学] 

基　　金：广州市基础与应用基础研究专题(批准号:2023A04J0024) 中国科学院人才引进计划(批准号:E33310030D) 中国科学院空天信息创新研究院(批准号:E1Z1D101,E2Z2D101)资助的课题 

主　　题：辐射磁流体力学 激光诱导放电等离子体 碰撞辐射模型 极紫外光 

摘      要：极紫外光刻是目前新一代超高集成度半导体芯片制造流程中重要的一环,激光诱导放电等离子体是极紫外光源产生的重要技术手段之一.本文基于全局状态方程、原子结构计算程序、碰撞辐射模型建立了一个辐射磁流体力学模型,对激光诱导放电等离子体的动力学特性及极紫外的辐射特性进行模拟,模拟复现了放电过程中的箍缩现象,得到的极紫外光的转化效率与实验符合.研究发现放电电流的上升速率对极紫外光的产生有极大的影响,该结果对后续极紫外光输出功率、转化效率以及光谱纯度的提升有重要的指导意义.