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基于强度干涉原理的双光路动态测量方法
Dual-pass optical dynamic measuring method based on intensity interference principle作者机构：清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084
出 版 物：《光学技术》 (Optical Technique)
年 卷 期：2006年第32卷第4期
页 面：618-620页
核心收录：
学科分类：070207[理学-光学] 07[理学] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程] 081102[工学-检测技术与自动化装置] 0811[工学-控制科学与工程] 0702[理学-物理学]
摘 要：在近场光存储方案中,头盘间距动态测控技术是近场光存储理论和技术的实用化。根据近场光学头的飞行特点,提出了一种基于光强干涉原理的测量系统,重点介绍了其测量原理和标定方法。采用双光路结构来提高测量分辨率,利用光偏振特性来消除反馈光对信号光的干扰。通过对系统性能的分析和试验表明,动态特性达到了500kHz,测量分辨率高于1nm,可满足系统高精度动态测试的要求。
