作 者：大舟
出 版 物：《光机电信息》 (OME Information)
年 卷 期：1996年第13卷第5期
页 面：32-34页
学科分类：08[工学] 0802[工学-机械工程]
主 题：微系统工程 微型结构 高精密定位 通信
摘 要：微系统工程中的现代定位系统,不仅反映在它的机械精度.注意力应当特别放到与复杂系统相连接的电子学系统的通信能力.在激光微细材料加工中,激光脉冲序列必须与基板的定位保持同步.微系统工程有许多特殊要求,最明显的一个例子就是产生电波用的波导.可以通过在适当材料基质(如氧化硅)去除材料的办法,制成微型结构的波导,其深度与宽度约从几微米到几百微米,其纵向延伸与变化受基质的限制.
