超微压力测量装置原理及其误差分析

作     者：魏吉声 

作者机构：上海自动化仪表一厂 

出 版 物：《能源研究与信息》 (Energy Research and Information)

年 卷 期：1990年第6卷第3期

页      面：31-42页

学科分类：08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 081102[工学-检测技术与自动化装置] 0811[工学-控制科学与工程] 

主　　题：压力 测量装置 误差 分析 

摘      要：本文介绍测量超微压力0～5Pa,到0～160Pa的测量原理并设计了测量系统,采用特殊工艺制成的钟罩,把微小压力的测量转换为重量的测量,利用称重法计量0～25Pa的压力,计算精度为万分之五。并对钟罩尺寸和形位公差等进行了严格的规定,在这基础上进行误差分析,确定了本装置的测量精度。本装置可移动,测试方便,灵敏度高、适用仪表厂测试0～160Pa以下量程的压力和差压变送器、传感器,又可连续计量0～160Pa的压力值,可以供计量系统计量使用。本装置已在上海自动化仪表一厂使用多年,并在89年作为CPCW—25超微差压变送器(测量范围0～25Pa)的计量基准,已得到有关计量单位认可。本装置的出现解决了超微压力、差压变送器的计量手段,以及压力开关和传感器的测量。因国内尚无计量基准,目前仅以理论计算值来代替,待建立基准后本文仅供误差分析参考。