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基于FR4的电磁式扫描光栅微镜结构优化设计
作者机构：重庆大学微电子与通信工程学院重庆400030
出 版 物：《机电信息》 (Mechanical and Electrical Information)
年 卷 期：2025年第3期
页 面：44-47页
学科分类：08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 081102[工学-检测技术与自动化装置] 0811[工学-控制科学与工程]
基 金：重庆市高等教育教学改革研究项目“融合人工智能的模拟集成电路原理与设计数字化课程建设研究”(244005) 重庆市科技局项目“MEMS封装技术研发”(2022019-1)
摘 要：扫描光栅微镜的转动结构通常设计成扭振系统,通过扭转梁实现微镜转动时的结构抗扭。将扭转梁设计成折叠形式,可以减小扭转梁的抗扭刚度,但扭转振型仍有可能未成为系统的一阶主振型。因此,通过提高系统镜板的转动惯量和设置刚度调节棒,改进系统的振型模态分布。最后,对优化后结构进行了理论计算和基于ANSYS的有限元软件仿真,结果均表明优化后结构能有效改善微镜的扭转谐振特征。
