用于扫描近场光学显微镜的一种新型非光学样品-探针间距测控方法

作     者：刘秀梅 洪涛 王佳 李达成 LIU Xiu-mei;HONG Tao;WANG Jia;LI Da-cheng

作者机构：精密测试技术及仪器国家重点实验室 清华大学精密仪器系 

出 版 物：《电子显微学报》 (Journal of Chinese Electron Microscopy Society)

年 卷 期：1999年第18卷第1期

页      面：119-123页

核心收录：

学科分类：08[工学] 0803[工学-光学工程] 

基　　金：国家自然科学基金 

主　　题：扫描近场光学 显微镜 间距调控 非光学法 

摘      要：扫描近场光学显微镜ＳＮＯＭ（ｓｃａｎｎｉｎｇｎｅａｒ－ｆｉｅｌｄｏｐｔｉｃａｌｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）自八十年代中期以来获得了迅速的发展，并具有超衍射极限光学分辨率。作为ＳＮＯＭ的关键技术之一，样品与探针间距的控制十分重要而且实现起来比较困难。基于剪切力原理，本文提出了一种新型的样品－针尖间距测控的非光学方法，即，利用压电陶瓷的压电和逆压电效应，将压电陶瓷片分为三部分，分别用于激励探针振动、固定探针以及探测针尖振动变化。该方法的灵敏度很高，可将样品－针尖的间距控制在３ｎｍ左右，而且廉价、制备十分简单。