静电悬浮转子微陀螺及其关键技术

作     者：崔峰 苏宇锋 张卫平 吴校生 陈文元 赵小林 CUI Feng;SU Yu-feng;Zhang Wei-ping;WU Xiao-sheng;CHEN Wen-yuan;ZHAO Xiao-lin

作者机构：上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家重点实验室上海200030 

出 版 物：《中国惯性技术学报》 (Journal of Chinese Inertial Technology)

年 卷 期：2005年第13卷第6期

页      面：61-67页

学科分类：08[工学] 081105[工学-导航、制导与控制] 0811[工学-控制科学与工程] 

基　　金：国家自然科学基金(60402003) 教育部科学技术研究重大项目(重大0307) 

主　　题：微机电系统 微陀螺 微加速度计 转子 静电悬浮 

摘      要：静电悬浮转子微陀螺具有比振动式微陀螺精度高的潜在优点,并可同时测量二轴角速度和三轴线加速度。介绍了静电悬浮转子微陀螺的研究现状。对该静电悬浮转子微陀螺/加速度计的工作原理、特点进行了分析,并对实现高精度静电悬浮转子微陀螺/加速度计的关键技术如静电稳定悬浮、微位移检测控制、静电恒速旋转驱动、微机械加工和真空封装技术等进行了探讨。指出这一新颖MEMS陀螺是高精度多轴集成微惯性传感器技术发展的一个重要方向,具有广阔的应用前景和较大的发展潜力。