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干涉显微镜的调整

作     者:韩岩 戚勇达 杜光伟 

作者机构:黑龙江省计量检定测试所 

出 版 物:《质量天地》 

年 卷 期:1995年第2期

页      面:31-31页

学科分类:08[工学] 0803[工学-光学工程] 

主  题:干涉显微镜 物镜 补偿镜 标准反射镜 

摘      要:干涉显微镜是采用光波干涉原理检查工件表面粗糙度的仪器。用一块平面反射镜作参考镜,被测零件表面作测量镜,利用迈克尔逊干涉仪原理,使其产生干涉条纹,由于零件表面的高低不平使条纹弯曲,通过对条纹弯曲量的测量,可以测量R=0.05-0.8mm的表面粗糙度值。

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