原位溅射型单次试开密码鉴别电路

作     者：王宇航 高杨 韩宾 贾乐 Wang Yuhang;Gao Yang;Han Bin;Jia Le

作者机构：西南科技大学信息工程学院四川绵阳621010 核探测与核电子学国家重点实验室北京100049 中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳621999 重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室重庆400044 

出 版 物：《强激光与粒子束》 (High Power Laser and Particle Beams)

年 卷 期：2016年第28卷第11期

页      面：128-132页

核心收录：

学科分类：082601[工学-武器系统与运用工程] 08[工学] 0826[工学-兵器科学与技术] 

基　　金：国家自然科学基金项目(61574131) 中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金项目(2014ZA001) 核探测与核电子学国家重点实验室开放课题基金项目(2016KF02) 西南科技大学特殊环境机器人技术四川省重点实验室开放基金项目(14zxtk01) 

主　　题：微电子机械系统 原位溅射 鉴别电路 密码锁 单次试开 

摘      要：针对目前微机电系统密码锁中的鉴别器结构复杂、智能电子密码锁可靠性不高的问题,设计了一种N bit的原位溅射型单次试开密码鉴别电路。N bit的密码鉴别电路,由2 N(N级、每级2个)个原位溅射型OFF-ON开关按照每级二选一的逻辑、N级级联的形式构成;将原位溅射型OFF-ON开关(OFF态到ON态的单向切换具有不可逆特性)与具有熔断特性的保险丝按照装定密码对应的电路关系进行连接,构成了原位溅射型单次试开固态密码锁,可将此密码锁用于对安全性要求高的要害系统、设施中。为了获得原位溅射型OFF-ON开关中金属爆炸箔与叉指电极之间的间隙,给出了三种固态密码鉴别电路的微加工工艺方案。