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AZO透明导电薄膜光电性能的研究进展
Research Development of Optical and Electrical Properties of AZO Transparent Conducting Thin Films作者机构：昆明理工大学材料科学与工程学院昆明650000 广州有色金属研究院新材料研究所广州510651 广东省现代表面工程技术重点实验室广州510651 现代材料表面工程技术国家工程实验室广州510651
出 版 物：《材料导报（纳米与新材料专辑）》 (Materials Reports)
年 卷 期：2016年第30卷第1期
页 面：228-234页
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学]
基 金：国家自然科学基金(51302044) 广东省金属平台创新建设(2013B091602002)
主 题：AZO薄膜 磁控溅射 光电性能 AZO/metal/AZO多层膜
摘 要：掺铝氧化锌(AZO)薄膜其原料来源广、经济无毒,且具有优越的光电性能,可以与传统铟锡氧化物(ITO)薄膜相媲美,是优良的透明导电材料。目前,关于各制备工艺参数对AZO薄膜的影响规律及其影响机理仍是研究热点。综述了透明导电AZO薄膜光学与电学性能的研究进展,讨论了各制备工艺条件对薄膜性能的影响,分析了AZO/metal/AZO多层膜的研究现状,并对AZO薄膜的研究方向给予了展望。
