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分子束外延的计算机控制
作者机构：复旦大学应用表面物理国家重点实验室上海200433
出 版 物：《真空科学与技术》 (Vacuum Science and Technology)
年 卷 期：1995年第15卷第4期
页 面：266-268页
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学]
摘 要：报导了一种专门为MBE生长而设计的计算机控制系统，改善并扩展了原控制单元SentinelⅢ的功能，并展示了由它控制生长的各种SiGe结构。
