基于集成参比电极的多参数水质监测微传感器阵列研制

作     者：张缓缓 刘彬 金庆辉 刘咏松 ZHANG Huan-huan;LIU Bin;JIN Qing-hui;LIU Yong-song

作者机构：浙江理工大学理学院浙江杭州310018 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2011年第30卷第10期

页      面：99-101,105页

核心收录：

学科分类：080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 0802[工学-机械工程] 

基　　金：上海市科委科研计划资助项目(09JC1416500 10391901600 1052nm06100) 浙江理工大学科研启动基金资助项目(0813827-Y) 浙江省教育厅科研计划资助项目(Y200909713) 

主　　题：微机电系统技术 Ag/AgCl参比电极 集成微电极 水质监测 

摘      要：研究了一种基于MEMS工艺制备的集成微电极型传感器,并用电化学修饰方法将Ag/AgCl参比电极集成在传感器上,用于水体中温度、电导率和氧化还原电位的测定。Pt温度传感器的电阻与温度的线性关系良好,满足温度测量精度的需求;比较法确定电导率传感器的电极常数为2.723,可以对一般水体的电导率进行测定;氧化还原电位传感器的标准曲线斜率为0.99733接近于理论值,表明它可以准确表示水体的氧化还原电位值。