Ag负载TiO_2纳米管阵列的制备及紫外探测性能研究

作     者：程宏伟 李刚 郭丽芳 程再军 CHENG Hongwei;LI Gang;GUO Lifang;CHENG Zaijun

作者机构：太原理工大学信息工程学院新型传感器和智能控制系统教育部(山西省)重点实验室微纳系统研究中心太原030024 厦门理工学院光电与通信工程学院福建厦门361024 

出 版 物：《半导体光电》 (Semiconductor Optoelectronics)

年 卷 期：2018年第39卷第4期

页      面：528-532页

学科分类：08[工学] 0803[工学-光学工程] 

基　　金：国家自然科学基金项目(61674113 51622507 61471255) 山西省自然科学基金项目(2014011019-1 20141001021-2 2016011040) 山西省回国留学人员科研项目(2013-036) 山西省人社厅留学人员择优项目(251) 人社部留学人员择优项目(240) 山西省高校科技创新研究项目(2016138) 

主　　题：阳极氧化 二氧化钛 银 紫外探测 光响应 

摘      要：利用阳极氧化方法制备了高度有序的TiO_2纳米管阵列,采用化学还原AgNO3在纳米管表面均匀沉积了Ag纳米颗粒以形成Ag/TiO_2/Ti(MSM)结构的紫外探测器,并通过SEM和EDS对形成的TiO_2-Ag纳米管进行形貌表征和成分分析。通过测试不同光照强度、不同偏压下的电压-电流(I-V)和电流-时间(I-t)曲线,研究了MSM结构在紫外光下的光电特性。实验发现,在偏压为1V、光照强度为1.04mW/cm2的375nm紫外光照射下,基于TiO_2-Ag肖特基结的紫外探测器光电流可达46.9μA,响应度为0.21A/W,外量子效率(EQE)为70.8%。研究结果表明,Ag负载的TiO_2纳米管阵列具有良好的紫外探测性能。