TMR单芯片微弱电流传感器的研制

作     者：王峥 郭海平 庞振江 徐绥召 王海宝 Wang Zheng;Guo Haiping;Pang Zhenjiang;Xu Suizhao;Wang Haibao

作者机构：北京智芯微电子科技有限公司 国家电网公司重点实验室电力芯片设计分析实验室北京100192 江苏多维科技有限公司江苏张家港215634 北京智芯微电子科技有限公司 北京市电力高可靠性集成电路设计工程技术研究中心北京100192 

出 版 物：《电测与仪表》 (Electrical Measurement & Instrumentation)

年 卷 期：2018年第55卷第17期

页      面：129-133页

学科分类：080802[工学-电力系统及其自动化] 0808[工学-电气工程] 08[工学] 

基　　金：工信部支持项目(0714-EMTC02-5378/4) 

主　　题：TMR元件 高分辨率 微弱电流检测 MEMS 

摘      要：针对微弱电流的检测,提出了一种单芯片微弱电流传感器,其原理是:利用隧道磁电阻(TMR)元件作为磁场敏感元件,并将电流导体和TMR元件进行集成,以减小电流导体与磁场敏感元件的间距,提高电流测量的分辨率。结合MEMS工艺,通过优化设计TMR元件结构和电流导体结构,研制出了电流分辨率达到20μA的微弱电流传感器,为微弱电流检测提供了一种有效、廉价的解决方案。