基于电镀铜平面弹簧的微型电磁式振动能量采集器

作     者：王佩红 鲁李乐 戴旭涵 赵小林 WANG Pei-hong;LU Li-le;DAI Xu-han;ZHAO Xiao-lin

作者机构：薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院 

出 版 物：《功能材料与器件学报》 (Journal of Functional Materials and Devices)

年 卷 期：2008年第14卷第1期

页      面：171-174页

学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 081102[工学-检测技术与自动化装置] 0811[工学-控制科学与工程] 

基　　金：国家自然科学基金(No.50405013) 863计划(No.2006AA04Z360) 微米/纳米加工技术国家级重点实验室基金(No.9140C790301060C79) 上海市科委重点实验室基金(No.05dz22309)资助项目 

主　　题：振动能量采集器 微机电系统 电磁式 铜平面弹簧 双层线圈 

摘      要：采用微机电系统加工技术制作出一种结构新颖的微型电磁式振动能量采集器,它可以把周围环境中的振动能转换为电能。整个结构主要由圆形SmCo28永磁体、铜平面弹簧和双层线圈构成。采用UV-LIGA技术和电镀技术制作铜平面弹簧和双层线圈,并与永磁体一起组装成试验样机,其体积大约为200mm3。Ansys有限元仿真结果表明共振结构的一阶固有频率为129.3Hz。对组装好的电磁式振动能量采集器试验样机的初步测试表明:在加速度为3g(g=9.8m/s2)的外界输入冲击下,负载两端的交流电压峰峰值为32.5mV。