极坐标系统下进行直角坐标扫描的离子束抛光

作     者：郭伟远 成贤锴 GUO Wei-yuan;CHENG Xian-kai

作者机构：中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所江苏南京210042 中国科学院天文光学技术重点实验室江苏南京210042 中国科学院研究生院北京100039 

出 版 物：《应用光学》 (Journal of Applied Optics)

年 卷 期：2012年第33卷第1期

页      面：164-169页

学科分类：080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程] 

基　　金：国家自然科学基金仪器专项项目(10827302) 

主　　题：离子束抛光 极坐标系统 扫描方式 计算机控制光学表面成形 

摘      要：在离子束抛光设备研制过程中,离子源扫描运动方式的选择是很关键的,一般分为直角坐标方式扫描和极坐标方式扫描两种。根据两种扫描方式的特点,在极坐标系统下进行直角坐标扫描方式加工。该种方法采用直角坐标扫描方式下的驻留时间计算,算法相对简单。该种方法在极坐标系统下进行加工,同等情况下可加工圆形镜面的口径比直角坐标系统下更大些;而且离子源的可移动区域是一条直线,其余地方可以摆放其他设备,空间利用率较高。对这种新思路进行仿真分析,证实了其具有可行性。