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硅微加速度计的接口检测电路的研究
The Detection Circuitry for Micromachined Accelerometer作者机构：航空工业总公司第618研究所七室西安710065 西北工业大学自动控制系西安710072 西安交通大学电子与信息学院西安710049
出 版 物：《仪器仪表学报》 (Chinese Journal of Scientific Instrument)
年 卷 期：2000年第21卷第2期
页 面：170-172页
核心收录：
学科分类：08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 081102[工学-检测技术与自动化装置] 0811[工学-控制科学与工程]
摘 要：研究了微加速度计的电容变化率为 10 - 7～ 10 - 8时的微弱输出信号的检测技术 ,这是微机械器件研制中具有普遍性的技术难点。在研究检测微小电容变化量的积分电路的基础上 ,进一步采用了可抑制低频噪声和漂移的相关双采样技术 ,以及抑制由开关的电荷注入引起的误差的技术。这些全新的技术思路和措施可望达到检测 10 - 7～ 10 -
