MoS2-Ti/Cu-Ni-In多层膜的制备及其高温抗微动磨损性能

作     者：李琪 代明江 韦春贝 侯惠君 刘凤美 熊敏 LI Qi;DAI Ming-jiang;WEI Chun-bei;HOU Hui-jun;LIU Feng-mei;XIONG Min

作者机构：广东省焊接技术研究所(广东省中乌研究院)广东省现代焊接技术重点实验室广东广州510650 广东省新材料研究所现代材料表面工程技术国家工程实验室广东省现代表面工程技术重点实验室广东广州510650 

出 版 物：《电镀与涂饰》 (Electroplating & Finishing)

年 卷 期：2018年第37卷第21期

页      面：988-993页

学科分类：080503[工学-材料加工工程] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 

基　　金：广东省科学院实施创新驱动发展能力建设专项(2018GDASCX-0113) 广州市科技计划项目(201510010016) 

主　　题：钛合金 二硫化钼 铜-镍-铟合金 多层膜 磁控溅射 微观结构 微动磨损 

摘      要：为了改善钛合金表面的高温抗微动磨损性能,采用非平衡磁控溅射技术在TC4钛合金表面沉积了总厚度约为6μm的Mo S_2–Ti/Cu–Ni–In多层固体润滑膜,并与单层MoS_2–Ti与Cu–Ni–In膜进行对比。利用扫描电镜、压痕仪、X射线衍射仪、维氏显微硬度计、微动摩擦磨损试验机和三维表面轮廓仪对固体润滑薄膜的形貌、结合强度、物相、显微硬度、350°C下的微动磨损行为和磨痕形貌进行分析。结果表明,所制备的Mo S_2–Ti/Cu–Ni–In多层膜交替结构清晰,致密,在12 000个微动循环周期后的摩擦因数稳定在0.266左右,最终磨损总量为0.357 mm^3,都比2种单层膜小,具有良好的高温抗微动磨损性能。