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基于谱域光学相干层析的表面形貌成像
Surface Topography Imaging with Spectral Domain Optical Coherence Tomography作者机构：东北大学秦皇岛分校实验教育中心河北秦皇岛066004 东北大学秦皇岛分校控制工程学院河北秦皇岛066004
出 版 物：《实验室研究与探索》 (Research and Exploration In Laboratory)
年 卷 期：2018年第37卷第11期
页 面：18-21页
学科分类：070207[理学-光学] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学]
基 金：国家自然科学基金项目(61275214) 河北省自然科学基金(A2015501065) 东北大学秦皇岛分校教改项目(201612)
摘 要：建立了一种基于谱域光学相干层析的表面形貌成像实验系统,该实验系统可以实现纳米精度及微米精度的表面形貌成像。系统主要包括低相干光光源、光纤迈克尔逊干涉仪、光谱仪。由光谱仪采集探测光和参考光的干涉光谱,经过傅里叶变换得到幅度谱和相位谱,分别得到纳米级及微米级精度的深度信息。用光学分辨率板和硬币对本系统进行了实验验证,该系统用于纳米级及微米级精度成像时,其精度分别为0. 075 nm和5. 1μm。
