微机械气流式水平姿态传感器建模技巧及计算

作     者：刘玉洁 朴林华 宋佳 李言杰 张福学 LIU Yu-jie;PIAO Lin-hua;SONG Jia;LI Yan-jie;ZHANG Fu-xue

作者机构：北京信息科技大学传感器实验中心北京100101 

出 版 物：《北京机械工业学院学报》 (Journal of Beijing Institute of Machinery)

年 卷 期：2008年第23卷第3期

页      面：1-4页

学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学] 

基　　金：国家自然科学基金委员会(60772012) 北京市教育委员会科技计划面上项目(KM00710772009) 北京市优秀人才培养 北京市传感器重点实验室和北京市属市管高校人才强教计划项目资助 

主　　题：三维建模 截取 有限元仿真 微机械 水平姿态 

摘      要：阐述了微机械气流式水平姿态传感器的三维建模技巧及仿真。利用ANSYS-FLOTRAN CFD软件,通过建立三维实体模型、划分网格、加载和求解等途径,进行了有限元仿真。为了使分析更为简便可行,提出了合理的模型建立方案,采用了截取部分体积建模的方法,节省了大量的计算时间;而多次网格划分及关键线偶数段划分的技巧,提高了仿真结果的准确性和计算进度。这种三维建模方法提高了微机械水平姿态传感器敏感机理研究的精确性。