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微机械电容式加速度计检测电路设计
Detection circuit design of MEMS capacitive accelerometer作者机构：中北大学电子科学与技术系电子测试技术国家重点试验室山西太原030051
出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)
年 卷 期：2006年第25卷第8期
页 面：59-60,73页
核心收录：
学科分类：0810[工学-信息与通信工程] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 080402[工学-测试计量技术及仪器] 0835[工学-软件工程] 081002[工学-信号与信息处理]
基 金：武器装备预先研究计划资助项目(514090304B0401) 山西省自然科学基金资助项目(20051040)
摘 要：通过对MEMS电容式加速度计的差分电容检测电路优缺点的比较,结合直流充放电检测方法和交流测量方法的优点,设计了微分检测电路,用方波作为载波。该电路由方波信号发生器、微分电路、全波整流电路和滤波电路组成。经试验验证:可检测到10-16F的差分电容,且其非线性度小于±1%FS,可作为MEMS电容式加速度计的后续处理电路。
