作 者:陈玉玲 匡石 刘波 张哲 CHEN Yu-ling;KUANG Shi;LIU Bo;ZHANG Zhe
作者机构:沈阳仪表科学研究院
出 版 物:《传感器世界》 (Sensor World)
年 卷 期:2009年第15卷第7期
页 面:23-26页
学科分类:080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 0802[工学-机械工程]
主 题:硅电容差压传感器 测试装置 工装夹具
摘 要:针对硅电容差压传感器测试项目,达到对被测传感器实现批量、快速、连续的测试要求,设计了硅电容差压传感器测试工装夹具,并对其进行了有限元受力分析,充分证明了夹具的设计满足了测试过程对夹具的材料,密封性、轻便性以及各部分结构中心对准等的要求。