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硅电容差压传感器批量测试工装夹具的设计

Design of frock clamp for batch test of Si-capacitive differential pressure sensor

作     者:陈玉玲 匡石 刘波 张哲 CHEN Yu-ling;KUANG Shi;LIU Bo;ZHANG Zhe

作者机构:沈阳仪表科学研究院 

出 版 物:《传感器世界》 (Sensor World)

年 卷 期:2009年第15卷第7期

页      面:23-26页

学科分类:080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 0802[工学-机械工程] 

主  题:硅电容差压传感器 测试装置 工装夹具 

摘      要:针对硅电容差压传感器测试项目,达到对被测传感器实现批量、快速、连续的测试要求,设计了硅电容差压传感器测试工装夹具,并对其进行了有限元受力分析,充分证明了夹具的设计满足了测试过程对夹具的材料,密封性、轻便性以及各部分结构中心对准等的要求。

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