柔性MEMS流速传感器的测控电路设计与实验

作     者：樊冬 崔峰 张卫平 刘武 吴校生 FAN Dong;CUI Feng;ZHANG Wei-ping;LIU Wu;WU Xiao-sheng

作者机构：微米纳米加工技术国家级重点实验室上海市北斗导航与位置服务重点实验室上海交通大学微纳电子学系上海200240 

出 版 物：《仪表技术与传感器》 (Instrument Technique and Sensor)

年 卷 期：2018年第11期

页      面：7-9,17页

学科分类：080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 0802[工学-机械工程] 

基　　金：装备预研基金(9140C790405140C79330,6140863020202) 航空科学基金(2016ZD57006) 上海市科委专业技术服务平台(16DZ2290103) 

主　　题：柔性MEMS 流速传感器 双惠斯登电桥 温度补偿 

摘      要：针对MEMS流速传感器量程小及无法应用于曲面的不足,设计制造了一种柔性MEMS流速传感器,其结构主要包含加热电阻和3对测温热电阻,同时结合热损失和热温差工作原理来实现宽量程的流速测量。设计了带温度补偿的双惠斯登电桥测控电路,利用STM32微处理器ADC模块对多路流速测量结果进行采样。测试实验实现了0～32 m/s的输入风速测量,其中在1 m/s以下的低风速段内传感器具有100 m V/(m·s^(-1))的较高灵敏度,在风速(1～7 m/s)和(7～32 m/s)下的灵敏度分别为83.1 m V/(m·s^(-1))和28.3 m V/(m·s^(-1))。该柔性MEMS流速传感器可贴于曲面应用,测量范围大、精度高。