基于三维缺陷检测的DMD数字条纹投影光学系统设计

作     者：陈方涵 赵光宇 蒋仕龙 彭文达 CHEN Fang-han;ZHAO Guang-yu;JIANG Shi-long;PENG Wen-da

作者机构：深圳大学光电工程学院光电子器件与系统(教育部/广东省)重点实验室广东深圳518060 北京大学深圳研究院运动控制技术实验室广东深圳518057 华南师范大学华南先进光电子研究院光及电磁波研究中心广州510006 

出 版 物：《光子学报》 (Acta Photonica Sinica)

年 卷 期：2015年第44卷第2期

页      面：163-169页

核心收录：

学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 070207[理学-光学] 07[理学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学] 

基　　金：广东省引进创新科研团队计划(No.201001D0104799318)资助 

主　　题：光学投影 表面缺陷 LED照明 数字条纹投影 数字微镜元件 双远心结构 

摘      要：基于半导体行业中PCB焊膏印刷检测的实际应用,采用0.45 WXGA DMD芯片设计了数字条纹投影光学系统.以LED作为光源,结合透镜阵列照明DMD芯片;同时,为了减小投影三角关系造成的条纹周期不均匀性对检测结果的影响,采用双远心光路结构将DMD生成的条纹成像到待测表面,且适用的最小检测面积为1mm2.光学模拟结果表明,该数字投影系统在被投影表面上的照明均匀性为91%,投射条纹的对比度高于0.8,且条纹周期均匀,为实际应用与后续条纹分析提供了良好保障.