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微型二维扫描镜的原理性实验研究

Experimental investigation on the principle of a twodimensional scanning micro-mirror

作     者:张弛 张高飞 尤政 ZHANG Chi;ZHANG Gaofei;YOU Zheng

作者机构:清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084 

出 版 物:《清华大学学报(自然科学版)》 (Journal of Tsinghua University(Science and Technology))

年 卷 期:2008年第48卷第11期

页      面:1919-1922页

核心收录:

学科分类:080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术(可授工学、理学学位)] 08[工学] 

主  题:二维扫描镜 微型化 扫描频率 扫描范围 

摘      要:为满足激光扫描装置微型化的要求,设计了一种微型二维扫描镜,能够通过反射激光束实现二维扫描。对这种结构建立了理论模型,分析了2个方向上的扫描频率和最大扫描角;对微型二维扫描镜原理样机进行了实验研究。结果表明:2个一维扫描频率分别为170.1H z和378.8H z;同时施加这2种谐振频率的激励时,可实现该扫描镜的二维大角度偏转;2个方向上的最大扫描角随激励位移的增加而变大;在10μm驱动位移的激励下,该微型二维扫描镜可达到大于30°×20°的扫描范围。

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