热熔回流工艺参数对微球形结构高度影响的仿真研究

作     者：蒋炳炎 李代兵 陈磊 Stefan KIRCHBERG JIANG Bing-yan;LI Dai-bing;CHEN Lei;Stefan KIRCHBERG

作者机构：中南大学现代复杂装备设计与极端制造教育部重点实验室湖南长沙410083 克劳斯塔尔工业大学聚合物材料和塑料工程研究所 

出 版 物：《郑州大学学报（工学版）》 (Journal of Zhengzhou University（Engineering Science）)

年 卷 期：2011年第32卷第2期

页      面：37-41页

学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 

基　　金：国家自然科学基金外国青年学者项目(51050110138) 

主　　题：热熔回流 工艺参数 微球形结构 Marc仿真 

摘      要：应用Marc软件仿真光刻胶熔融变形过程,研究热熔回流工艺参数对尺寸规格D×h为Φ500μm×66μm的微圆柱光刻胶熔融后微球形结构高度的影响.对仿真结果进行正交实验法分析,得出最佳工艺参数组合;对仿真结果进行单因素实验法分析,研究不同工艺参数对微球形结构高度的影响规律.结果表明,最佳工艺参数组合:加热速率1℃/s,加热温度110℃,保温时间45 min;工艺参数对微球形结构高度的影响顺序为:保温时间加热速率加热温度.