版权所有：内蒙古大学图书馆 技术提供：维普资讯• 智图
内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区大学西街235号 邮编: 010021
基于谐振原理的硅微机械加速度计
Micromachined accelerometer based on resonant principle作者机构：北京大学微电子学研究所北京100871 天津大学精仪学院天津300072 清华大学精仪系北京100084
出 版 物：《微纳电子技术》 (Micronanoelectronic Technology)
年 卷 期：2003年第40卷第7期
页 面：271-273页
学科分类：080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0802[工学-机械工程] 081102[工学-检测技术与自动化装置] 0811[工学-控制科学与工程]
主 题：谐振原理 硅微机械加速度计 类谐振器 非线性频率 激励振动 谐振传感器
摘 要：基于力学振动原理 ,导出敏感梁类谐振振动的微分方程 ,给出了振梁型加速度计的设计原理。指出了加速度计谐振梁频率的相对变化量与梁的厚度无关 ;为避免输出非线性频率信号 。
