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内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区大学西街235号 邮编: 010021
作者机构:清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室北京100084 中国科学院西安光学精密机械研究所陕西西安710068
出 版 物:《光电子.激光》 (Journal of Optoelectronics·Laser)
年 卷 期:2003年第14卷第7期
页 面:745-748页
核心收录:
主 题:相移干涉术 相位跳变 跳变线估测 相位包裹去除法 形貌测量
摘 要:针对相移干涉术中噪声点产生的相位跳变,提出一种基于跳变线估测的相位包裹去除法。该方法简单实用、与去包裹路径无关,可以有效地消除干涉图噪声所产生的位相跳变,消除噪声包裹导致的相位图上的拉线现象,恢复真实相位。用于相移干涉测量表面微观形貌,取得了较好的实验结果。