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衍射光学束匀滑器件的自相关系数与性能参数

Autocorrelation Coefficient and Performance Parameter of Diffractive Optical Element for Beam Smoothing

作     者:谭峭峰 严瑛白 金国藩 TAN Qiao-feng;YAN Ying-bai;JIN Guo-fan

作者机构:清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室北京100084 

出 版 物:《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)

年 卷 期:2005年第32卷第2期

页      面:200-203页

核心收录:

学科分类:070207[理学-光学] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学] 

基  金:国家863计划(863 804 9 2)资助项目 

主  题:光学器件 衍射光学 束匀滑 自相关系数 性能参数 

摘      要: 根据衍射光学束匀滑器件透过率函数的自相关系数,重新定义了表征衍射光学器件(DOE)焦面光强分布束匀滑性能的两个参数:光能利用率和顶部不均匀性。此种定义是对利用衍射光学器件焦面光强分布的空间频谱进行的性能参数定义的一种近似,对于精细化设计,两种定义计算结果非常吻合;而对于传统设计,两种定义计算结果有较大偏差。当衍射光学束匀滑器件与光谱色散平滑(SSD)技术联合使用时,模拟计算结果表明,对于精细化设计与传统设计,定义的性能参数均能反映衍射光学器件的实际使用性能。

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