MOEMS扫描微镜的测试实验与分析

作     者：罗彪 温志渝 陈李 钱蓉蓉 梁玉前 LUO Biao;WEN Zhi-yu;CHEN Li;QIAN Rong-rong;LIANG Yu-qian

作者机构：重庆大学新型微纳器件与系统技术国家重点学科实验室重庆400030 重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室重庆400030 重庆大学微系统研究中心重庆400030 

出 版 物：《纳米技术与精密工程》 (Nanotechnology and Precision Engineering)

年 卷 期：2012年第10卷第4期

页      面：307-312页

核心收录：

学科分类：080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 0802[工学-机械工程] 

基　　金：国际科技合作与交流专项资助项目(2009DFB10440) 重庆市科技攻关计划资助项目(CSTC 2008AC2006 CSTS2007BB3203) 

主　　题：MOEMS 微镜 角度传感器 误差分析 测试 

摘      要：针对集成角度传感器微镜在实际使用过程中的要求,在分析研究MOEMS扫描微镜结构与工作原理的基础上,进行了MOEMS扫描微镜最大偏转角度、驱动电压、谐振频率和传感器输出参数的测试.并且为了提高数据的可靠性,利用几何光学理论和误差理论的方法对该测试系统进行了详细分析,以此作为测试的系统误差与测试随机误差进行了误差合成.误差分析表明,该微镜在驱动电压为0.7 V时,最大偏转角为±8.704 15°,测试误差为±0.045 605°.此外,还对测试过程中扫描微镜谐响应频率随扫描模式及扫描电压而变化的现象进行了分析.