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MEMS集成滤波器技术
MEMS integrated filter technology作者机构：华东师范大学微电子电路与系统研究所上海200241 同济大学软件学院上海200092
出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)
年 卷 期：2008年第27卷第7期
页 面：5-8页
核心收录：
学科分类：080902[工学-电路与系统] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学]
基 金：国家自然科学基金资助项目(60676047) 上海市应用材料研究发展基金资助项目(06SA11)
主 题：微电子机械系统 开关 变容器 可调滤波器 可重构滤波器
摘 要：滤波器是频率转换系统(如,调谐电路、接收器)的基本构成模块。借助于MEMS技术实现的滤波器不仅带来插入损耗、功耗、线性等性能的改善,也有利于将整个通信前端集成到单一芯片上。综述了MEMS可调滤波器的研究进展。与单一利用MEMS电容的调变实现频率可调的滤波器相比,分形可调MEMS滤波技术有更小的插入损耗和更宽的调频范围。
