一种新型的电热驱动MEMS微继电器的研制

作     者：胡志军 陈迪 黄闯 陈翔 朱军 刘景全 HU Zhijun;CHEN Di;HUANG Chuang;CHEN Xiang;ZHU Jun;LIU Jingquan

作者机构：上海交通大学微纳科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2009年第22卷第12期

页      面：1696-1700页

核心收录：

学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 

基　　金：国家自然科学基金资助(50875169) 

主　　题：MEMS 微继电器 电热驱动 有限元分析 

摘      要：设计和制备了一种新型的电热驱动微电子机械(MEMS)继电器,并进行了性能测试。整个工艺采用非硅MEMS工艺,利用Cu作为牺牲层材料,Ni作为微继电器的结构材料。微继电器是基于杠杆放大原理设计的,因此能够获得较大的行程;驱动臂采用U型梁设计,能够在不增加功耗的条件下,获得较大的驱动力。并采用Ansys10.0有限元软件对微继电器进行了模拟分析。测试结果表明,这种微型继电器具有体积小、驱动电压低、切换速度快等优点。