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单片集成阵列式MEMS矢量水听器设计与仿真
Design and simulation of array type MEMS vector hydrophone on a chip作者机构：中北大学电子测试技术重点实验室山西太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051
出 版 物：《舰船科学技术》 (Ship Science and Technology)
年 卷 期：2014年第36卷第4期
页 面：78-81页
学科分类：12[管理学] 1201[管理学-管理科学与工程(可授管理学、工学学位)] 08[工学]
基 金：国家863计划资助项目(2011AA040404) 国家自然科学基金资助项目(61127008/F040703)
摘 要：针对当前对MEMS矢量水听器高可靠性、宽频带的迫切要求,设计了2×2单片集成阵列式MEMS矢量水听器。矢量水听器单片集成阵列化可以提高水听器一致性,大幅度降低水听器的制造成本。在理论分析的基础上,通过Ansys软件完成对阵列微敏感结构机械特性和频率特性的仿真,确定压阻惠斯通电桥的布置及连接方式。对于水听器的研究和应用有重要意义。
