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热敏电阻的排列对传感器灵敏度的影响
Effect of arrangement for hot-resistance on the sensitivity of sensor作者机构：北京信息科技大学传感器技术研究中心
出 版 物：《电子元件与材料》 (Electronic Components and Materials)
年 卷 期：2009年第28卷第4期
页 面：24-26+33页
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学] 0802[工学-机械工程]
基 金：国家自然科学基金资助项目(No.60772012) 北京市教委科技发展面上资助项目(No.KM00710772009) 北京市优秀人才培养计划资助项目 北京市传感器重点实验室资助项目 北京市属市管高校人才强教计划资助项目
摘 要：采用有限元方法,借建立微机械气流式全方位水平姿态传感器敏感元件的三维模型,计算了热敏电阻在不同排列方式和不同倾斜状态下,敏感元件内温度场和流场的分布。结果表明:当两两相对的检测热敏电阻之间的距离d改变时,温度场和流场都发生变化;两两相对的检测热敏电阻处气流速度之差?v与倾角关系曲线也随d发生变化。其中,d为900μm是热敏电阻的最佳排列方式。
